本研究室で使用している主な実験装置を紹介します。電子光学、真空、高電圧、放電・電離、電子回路、精密機械、微細加工等、多種多様な科学技術に関わっています。
高分解能透過型電子顕微鏡（複合機能型開発機）
本研究室で開発した材料組織を原子配列レベルで観察しながら、微細な探針を用いてその原子配列を操作し、新たなナノ構造を合成して、さらにそのナノ構造の電気的・機械的・光学的性質を調べられる高分解能透過型電子顕微鏡です。透過電子顕微鏡、走査トンネル顕微鏡、原子間力顕微鏡、および近接場光学顕微鏡の機能を複合した原子直視型顕微鏡であり、開発機であるために本学にしかありません。
走査電子顕微鏡
合成した微粒子、研磨して作製した金属ナノチップや走査トンネル顕微鏡探針を観察する装置です。組成分析（X線エネルギー分散型）もできます。
イオンミリング装置
透過電子顕微鏡観察のための薄膜化装置です。アルゴンをイオン化して数kVの電圧で加速し、試料の構成原子をはじき出して試料を薄くします。イオンビームスパッタリング装置としても利用でき、セラミックスや高融点金属などの薄膜を作製します。
交流マグネトロンスパッタリング装置
試料に金属をコーティングするときに使用します。真空蒸着膜などの試料に金属やカーボンをコーティングするときに使用します。
真空蒸着装置・ガス中蒸発装置
薄膜、金属微粒子やフラーレンを作製するときに使用します。
電子顕微鏡試料ホルダー清浄化装置
電子顕微鏡試料清浄化装置電子顕微鏡試料と試料ホルダーを清浄化するときに使用します。簡便なスパッタリング装置です。
電子顕微鏡試料ホルダー予備排気装置
電子顕微鏡試料と試料ホルダーを電子顕微鏡本体に挿入する前に予備排気するときに使用します。本研究室で設計した型と市販型両方があり、いずれもターボ分子ポンプで排気します。
分光装置（フォトカウンティング型、汎用型）
発光・光吸収を調べる装置で数台あります。
レーザー
紫外から近赤外までの波長のレーザーを出力する装置で数台あります。フォトルミネッセンス等の実験に使用します。
光学顕微鏡（金属・実体式）
研磨途中の金属チップや試料を担持するマイクログリッド（透過電子顕微鏡観察用の微細多孔膜グリッド）を観察する顕微鏡です。試料の取り付け位置を確認するときにも使用します。
カンチレバーバネ定数計測装置
マイクロカンチレバーのバネ定数を実測する装置です。本研究で設計・製作した限定装置です。
工作機械
旋盤、フライス、ボール盤、ダイヤモンド切断機他、部品加工に使用します。
パソコン・ワークステーション
測定、画像処理、解析他、多くの用途に用います。