低速電子線回折（LEED)も測定でき，表面原子の配列の状態も知ることができます。試料は，マニピュレーターの先端に取り付けられ，反応チャンバーと測定チャンバーを行き来し，反応前後での表面状態の違いや，表面吸着種の測定もできます。
| X線光電子分光測定装置（XPS) |
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| 試料表面にX線を当て，その表面から飛び出した電子のエネルギーを測定することで，表面の元素や元素の電子状態を分析する装置です。 低速電子線回折（LEED)も測定でき，表面原子の配列の状態も知ることができます。試料は，マニピュレーターの先端に取り付けられ，反応チャンバーと測定チャンバーを行き来し，反応前後での表面状態の違いや，表面吸着種の測定もできます。 |